文章摘要:超快激光是指脉冲宽度极窄的激光，其瞬时功率极高，与物质之间的相互作用呈现出非线性、非平衡、多尺度的状态。超快激光具有超快（脉冲持续时间短）、超强（瞬时功率高）、超精细（加工结构精细）等特点，由此实现的非线性激光制造技术可以打破传统微纳制造的局限，实现各类难加工材料和复杂微纳结构的超精细制造，精度可达亚微米至纳米量级，在微光学、生物医学、智能电子器件等前沿领域体现出了独特的应用价值。本文主要聚焦飞秒激光微纳加工技术前沿，简要概括了飞秒激光加工的特点；介绍了飞秒激光加工的主要技术手段，包括飞秒激光直写和飞秒激光并行加工；讨论了飞秒激光加工技术的前沿应用领域，如微光学器件、微流体器件、多功能结构化表面、生物医学工程等；最后，对飞秒激光加工制造技术未来的发展趋势和研究方向进行展望。

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